二手 TORR CRC-150 #9122386 待售

TORR CRC-150是TORR Scientific制造的一种综合性溅射设备。该系统设计用于将一系列材料的薄膜沉积到基板上，达到用户精确指定的厚度。它非常适合生产具有适合各种应用的定制特性的样品。该单元包括一个体积足以容纳四个溅射目标和两个基板的真空室。腔室由高抗性不锈钢构成，底压约为0.15帕，配有显示器监视器和自动化操作的集成微处理控制器。真空室还设有一个双通、无油冷冻泵和一个用于排气的旋转阀。该机包括一个四枪磁控管溅射源，能够沉积具有特定金属与其他元素比例的薄膜。基板支架的设计可以容纳尺寸不超过5厘米的样品。基板支架可以移动到各种位置，以实现最佳的气相沉积角度。在沉积薄膜时，CRC-150的控制器可以提供目标-基板距离和溅射压力的精确控制，以及电压和功率的精确调节。此外，控制器显示腔室压力，使多层膜在多个基板上沉积，并允许自动端点检测和薄膜厚度计算。此外，离子源被集成到用于离子束辅助溅射否则难以沉积的材料的工具中。资产的电源设计为在允许控制溅射速率和沉积物料数量的水平上提供直流和交流的可变性。最后,TORR CRC-150允许自定义设计和修改以满足特定的应用程序。例如，模型可以安装额外的基板或目标支架，或定制设计的真空室。此外，该设备还具有与其他实验室设备（如质谱仪）集成的接口。总之，CRC-150是一个高度通用和先进的溅射系统，旨在以高精度、高速度和高可靠性将薄膜沉积到基板上。适用于广泛的行业，包括材料研发、光学涂层、半导体应用等。