二手 TRIKON / ELECTROTECH Delta 201 #293621505 待售
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TRIKON/ELECTROTECH Delta 201是为了在各种基板上沉积薄膜而开发的高性能溅射设备。该系统是一个单源、多腔、开帧溅射单元，允许广泛的工艺参数，是研究和工业环境中要求苛刻的应用的理想选择。TRIKON DELTA 201提供五个用于溅射涂层的腔室，包括装卸腔室、大型主腔室和小型腔室。腔室以电子和气动方式相互隔离，真空范围为0.5至1.0 mTorr。这台机器具有很高的沉积均匀性.可调的冷冻和加热锚使基板温度得到精确控制。ELECTROTECH Delta 201可以容纳多种基材，包括金属、陶瓷、玻璃、晶片直径达8英寸，厚度达4英寸。该工具具有平坦、干燥的板材,可选择线性、旋转或实验室手动转移装载选项。可调的端区高度和灵活的Y区范围使得微调各种基材的工艺参数成为可能。Delta 201配备了TRIKON专利的"TDC-200"沉积控制器，它具有直观的界面和用户友好的导航。该控制器可轻松访问所有工艺参数和配方,同时控制所有5个溅射室。该控制器具有射频阻塞功能和各种过程监控功能。TRIKON/ELECTROTECH Delta 201的溅射能力是首屈一指的。其特色是获得ELECTROTECH专利的"伊卡洛斯"惰性气体淋浴，可提高溅射效率并提供广泛的溅射工艺。Lift-off™目标配置提供均匀的溅射、优异的材料利用率和高度可控的薄膜厚度轮廓。总体而言，TRIKON Delta 201溅射资产是一种先进、通用的沉积模型。它为用户提供了对工艺参数的高精度控制，具有出色的均匀性和可重复性。该设备能够以优异的材料利用率和可控的薄膜厚度剖面执行广泛的溅射工艺，适合多种应用。
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