二手 TRIKON / ELECTROTECH MS 6210 #9266539 待售

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ID: 9266539
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6" (2) Power supplies, 12 kW Sputter etcher CELTEK CM 13-6 RF Generator Metals used: Cu, Cr, TiW, Au, Ti (2) Targets: Cr and Ti Ar Gas Shutter CTI-CRYOGENICS SCW Cryo compressor Spare parts: PCB Gauge Power supply: 400 V, 50 Hz.
TRIKON/ELECTOTECH MS 6210溅射设备是一种高精度、高性能的溅射系统,设计用于各种薄膜沉积和分析应用。该装置采用磁控管溅射技术,在广泛的基板和材料上提供可靠且可重复的薄膜沉积。该机具有双阴极真空室、数字过程气体和压力控制,以及用于监测沉积过程和监测产品质量的集成高分辨率光学检测工具。资产具有独特的双阴极布置,允许同时沉积两种不同的薄膜,如氧化物、氮化物和金属。不断监测和调整沉积速率和组成,以达到最佳性能。TRIKON MS 6210还具有可调节的工艺气体和压力控制模型,可配置为为每个应用提供最佳沉积条件。该设备采用高分辨率光学器件,以监测薄膜沉积过程,保证高质量沉积。光学系统集成了高分辨率数码相机和精密软件,用于自动分析沉积速率、组成和产品质量。软件还允许详细分析基板均匀性、层厚度、粗糙度和其他属性。该单元由一台功能强大的计算机控制机器支持,包括一个针对不同沉积过程的配方综合库。计算机控制工具设计方便用户,对沉积过程和数据采集提供精确控制。配方和设置可以很容易地修改和存储以备将来使用。该资产在薄膜沉积和分析应用中具有较高的性能和准确性。其体积小巧,便于在制造生产线中安装。该型号还兼容了广泛的配件和组件,如防护护罩、基板支架、防溅器、除尘系统等等。电工MS-6210溅射设备是薄膜沉积和分析应用的理想选择。其高精度沉积速率、组合物控制和高分辨率光学器件可提供可靠和可重复的结果。该系统的各种兼容组件和附件使其成为各种制造和研究应用的通用解决方桉。
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