二手 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123640 待售

ID: 9123640
晶圆大小: 6"
PECVD System, 6" Process: SiN-SiC (Sio2) Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4 Manuals included.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210是为各种appli ca tions设计的质量溅射设备。该系统具有优质金沉积的所有必要特征,是研究和工业工艺的理想选择。该单元基于三轴计算机控制的运动平台,包括两个线性滑轨和一个旋转。这就创造了400 x 400 x 70 mm的最大工作面积。共有三个武器,每个武器最多携带四个目标进行双重或四次配置,提供无限的取样到目标距离。TRIKON ND-6210凭借其高性能的Turbo Ionization Vacuum (TIV) Sputter源实现了金沉积的最高精度。这种最先进的技术具有极低的电离速率,从而进一步降低了薄膜应用的金沉积速率。同时,其高压电弧点火提供了较高的沉积速率。TIV源还支持短备用电流,这意味着机器可以在不同的黄金配置文件之间快速切换。ELECTOTECH ND-6210还提供了各种各样的支持过程监控工具。其用户友好的触摸液晶面板可提供精确的溅射压力读数,并实现远程压力控制。它还允许直接调整操作参数,从而使用户可以完全控制沉积过程。此外,ND-6210保持较低的气体温度,并具有90度可弯曲耦合功能,可确保刀具的最大灵活性。通过防止污染,延长了部件的使用寿命,保持了一个清洁的工艺室。总之,TRIKON/ELECTROTECH ND-6210是一种先进的溅射资产,专为各种应用而设计。由于其最先进的TurboIonizationVacuumSputter源,它在金沉积方面提供了卓越的精度和控制。支持过程监控工具、用户友好的触摸液晶面板、低温和柔性耦合进一步增强了其吸引力。
还没有评论