二手 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123641 待售

ID: 9123641
晶圆大小: 6"
PECVD System, 6" Process: SiN-SiC (Sio2) Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4 Manuals included.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210是设计用于各种工业、实验室和研究应用的高性能溅射设备。该溅射沉积系统由沉积室、电磁驱动目标以及相关电源和控制系统组成。该装置还具有气体输送机和精确的真空控制,以实现良好的环境控制.TRIKON ND-6210能够控制溅射沉积到基材上,如金属、半导体和玻璃,以及各种薄膜材料上。该工具采用磁控管溅射技术,这是一种行之有效的将薄膜沉积到基材上的技术。这种溅射技术通过用磁体轰击基板表面并提供必要的电源,创造出所需的具有所需特性的薄膜材料。电工ND-6210使用最先进的电子和控制系统对沉积过程进行精确监测和控制。该资产包括温度和压力传感器,以维持和优化溅射条件。ND-6210通过对反应性和惰性气体的精确流动控制,使沉积达到一个新的水平。该模型还可用于聚合物沉积、溅射蚀刻和多目标构型。再者,设备可以包含一系列的基板,包括硅、陶瓷和薄膜太阳能电池材料。TRIKON/ELECTROTECH ND-6210对于那些寻求高质量溅射系统的用户来说是一个经济实惠且高效的选择。该系统提供了一系列的特点和优点,如优秀的工艺控制,自动化操作,并在沉积膜卓越的均匀性。该设备高度可靠,在各种工业和研究环境中提供出色的性能。
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