二手 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123644 待售

TRIKON/ELECTROTECH ND-6210是为详细的多层沉积而设计的高性能溅射设备。该系统非常适合多种应用，如光电子、溷合微电子、太阳能电池、栅极电介质、防护涂层以及许多其他物理气相沉积过程。TRIKON ND-6210具有先进的直流电源单元,最大额定功率高达25 kV,峰值输出为500 W。这使得它适合各种应用,因为高电压允许完全控制沉积层的深度和均匀性。ELECTROTECH ND-6210还包括一个独立的三期控制机器，它允许控制目标电流、电压和/或功率。ND-6210具有坚固的机械结构，以确保沉积过程中的长期稳定性。该结构包括可靠的真空室和高精度运动级。真空室是一种完全集成的分配箱工具，具有大容量扩散泵和两级机械泵。这允许基压高达5 x 10-9 Torr。运动级的分析分辨率较低，为0.1微米，由伺服驱动马达操作。这样可以精确定位基板和目标。TRIKON/ELECTROTECH ND-6210还具有直径10厘米的内置溅射目标。目标是由陶瓷和石墨等非常适合直接沉积的高纯度材料制成的。此外，溅射靶可以支撑氧化物、氮化物、硅化物等非金属材料。射频电源可确保精确的电源传递和控制功能,从而实现均匀的层厚度。TRIKON ND-6210还以直观的用户界面设计为用户友好。资产包括触摸屏、数字反馈指示器和可编程过程配方。用户还可以轻松控制压力、过程时间、气体流量、电流等过程参数。这使得用户可以轻松调整溅射过程，实时监控沉积。总体而言,ELECTROTECH ND-6210是一种健壮、高性能的溅射模型,非常适合多种行业的多层沉积。其先进的电源设备、独立的三期控制系统、坚固的机械结构、溅射目标和用户友好的界面，ND-6210是任何精密沉积应用的理想选择。