二手 TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655332 待售
网址复制成功！
单击可缩放
TRIKON/ELECTOTECH PLASMAFAB MS4200是为精密薄膜沉积而设计的多功能溅射设备。该系统配有易于调节的可转动双目标护罩，提供出色的均匀性和薄膜均匀性。该MS4200还有一个高效的可变电源，用于准确控制传递到溅射目标的电源。可变电源允许调整目标通量和护套电压。它还具有平面单晶目标设计，以提高溅射速率。该MS4200还配备了一个温度范围从150摄氏度到450摄氏度的均匀基板加热器，用于持续调节和薄膜脱水。此功能可确保在各种基材尺寸和厚度上均匀沉积。加热器还能在较大的晶圆直径范围内提供高温均匀性和稳定性。该MS4200还拥有一个功能齐全的气体管理单元，气体流量、压力和范围均可调节。它还具有射频发生器和可选的过程控制,以提高灵活性。该发生器允许调节射频脉冲宽度，以确保最佳膜均匀性和附着力。最后，为MS4200提供了一台真空机，以保持腔室的工艺均匀性和密封性。总体而言，TRIKON PLASMAFAB MS4200非常适合沉积密度、均匀性和均匀性较高的薄膜。该工具的多功能功能为用户实现薄膜沉积目标提供了必要的灵活性和性能。
还没有评论