二手 TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655335 待售

TRIKON/ELECTOTECH PLASMAFAB MS4200是一种高度通用和可靠的溅射设备,专为薄膜沉积在一系列基材上而设计。它非常适合用于制造半导体器件、平板显示器和其他电子元件。该系统能够生产高质量的均匀薄膜，并具有多种材料成分的可能性。它包括一个真空室和三个独立的磁控管溅射头，可以串联使用或单独使用。健壮的离子源控制着预溅射环境，允许过程优化以达到所需的基板特征大小。该装置采用先进的控制器控制，可实现自动薄膜溅射调节和均匀性控制。可以调整广泛的工艺参数，以实现对溅射工艺的精确控制。流程状态通过图形用户界面进行监控,图形用户界面提供沉积的概述,并允许轻松进行任何更改。该MS4200还配备了一些附加功能，如基板旋转的可变速度和所有目标的可调冷却，以进一步提高均匀性和准确性。腔室内的不同工作区域可以独立加热，以最大限度地利用机器可能的应用。使用零维护功能和出色的安全功能使MS4200成为一种成本效益高、用户友好的薄膜沉积工具，非常适合研发实验室。它为各种用途的各种材料提供了一种可靠和一致的溅射沉积方法。