二手 ULVAC Ceraus Z-1000 #9198269 待售

ULVAC Ceraus Z-1000是一种最先进的溅射设备。溅射系统由一个腔室、一个溅射源、一个真空单元、一个气体进料机和一个处理控制单元组成。该工具旨在将所需材料的薄膜沉积在基板上。溅射室是一个圆柱形的室，有一个中央法兰板。腔室采用不锈钢制成，耐压力高达10托。它有一个直径12英寸的查看窗口和两个用于法兰连接的4英寸端口。该室配有一个自动化的门资产，可以方便地进出和快速装卸基板。溅射源是带有ED枪口和Mo枪口的二极管式溅射枪。它产生了一个高密度的等离子体，产生的是用于溅射基板表面的氙气。溅射枪连接电源，设计为提供可变功率控制。溅射过程也通过处理控制单元控制。真空模型由一个旋转泵、一个涡轮分子泵和一个挡板和陷阱组合组件组成。泵的设计目的是在腔室内提供清洁干燥的真空环境。挡板和陷阱组合组件用于清除溅射过程中可能产生的污染物和杂物。气体进料设备的设计是在溅射过程中，向腔室中引入氙气。它连接到溅射枪和真空系统。气体进料单元装有精密的压力传感器，用于监测腔内的压力。这样可以确保压力保持在溅射过程的最佳水平。处理控制单元用于监测和控制溅射过程中涉及的所有过程。配备先进的安全功能，如温度和压力控制器。它还具有显示过程的各种信息的能力，例如腔内的压力和温度。Ceraus Z-1000是一种先进的溅射机，用于薄膜沉积在基板上。它是一种可靠、通用的工具，可精确控制工艺参数，适用于各种溅射应用。