二手 ULVAC Ceraus Z-1101 #293625450 待售

ULVAC Ceraus Z-1101
製造商
ULVAC
模型
Ceraus Z-1101
ID: 293625450
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8" TMP Turbo pump missing.
ULVAC Ceraus Z-1101是一种溅射设备,能够在多个工业和研究应用中提供高精度、高可靠性的结果。该系统具有强大的溅射室,内置溅射源和11 "x 11"工作区。它能够在各种基板上沉积各种纳米粒子,如玻璃、塑料和金属。其腔室为纯奥氏体不锈钢建造,与溅射源热分离。这确保了高精度的结果,并防止热解吸样品。Ceraus Z-1101利用基于射频的溅射源将材料沉积到基板上。该源的功率最大为3 kW,可以编程以获得沉积膜的各种厚度。它以广泛的产生等离子体的气体和气体溷合物,如Ar、O2、O+N2、CO+Ar,推出高强度等离子体放电。再者,机组配备了三电极机,确保基板和溅射源可以独立操作,精确控制。这些功能允许广泛的过程和应用,因为该工具可以丢弃不同厚度和组成的材料。ULVAC Ceraus Z-1101还具有一个带有进给外壳的加工室,允许真空内样品装卸。此外,可以为资产订购一个快门,以防止污染,而密室能够在高达40 mbar真空的大气层下运行。此外,所有流程参数和活动都由设置控制软件进行监控,确保可靠、可重复和一致的结果。总体而言,Ceraus Z-1101是一种强大的高精度溅射模型,非常适合众多的工业和研究应用,从汽车和医疗设备涂层到用于芯片实验室设备的纳米团簇沉积。可用的各种配置允许满足灵活、用户定义的要求,其可靠、可重复的结果使其成为要求最苛刻的项目的理想选择。
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