二手 ULVAC Ceraus Z-1301 #9053700 待售
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ULVAC Ceraus Z-1301是为薄膜超高精度沉积而设计的下一代溅射设备。它采用复杂的溅射工艺,包括三个独立的射频/直流/直流溅射源,可精确控制大面积的沉积速率和均匀性。三个溅射源由强大的脉冲直流(PDC)源供电,允许精确控制溅射功率和电流。通用的Ceraus Z-1301能够在广泛的压力、温度和溅射功率范围内沉积介电膜、金属和复合材料。ULVAC Ceraus Z-1301包括各种高级功能,如大幅面样品支架和负载锁定系统,用于精确的样品安装和重复操作。该装置还包括一个电动溅射距离组件,确保基板-目标距离得到优化,以达到最大的沉积效率。Ceraus Z-1301包含一个实时数据采集和监控机器,提供关于沉积速率、均匀性、基板偏转等的实时信息。ULVAC Ceraus Z-1301提供方便用户的操作,从配方设置到胶片监控。它能够执行标准的溅射沉积过程,以及专门的过程,如无功和高功率沉积。Ceraus Z-1301是各种薄膜沉积任务的首选工具,从金属-绝缘体-金属(MIM)沉积到钝化层创建,再到精密光学元件涂层。此外,其内置的安全特性、先进的工艺控制和卓越的可靠性确保了ULVAC Ceraus Z-1301成为溅射沉积的理想选择。能够在大面积生产均匀沉积的优质薄膜,满足最严格的沉积要求。Ceraus Z-1301配备了ULVAC脉冲直流电源,为从电气和光学元件到生物医学传感器等多个行业的薄膜沉积应用提供了可靠可靠的平台。
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