二手 ULVAC Ceraus Zi-1000N #9053702 待售

ULVAC Ceraus Zi-1000N是为高通量溅射应用而设计的单室溅射设备。该溅射系统针对均匀的薄膜、厚度、较高的速率和提高的产量进行了优化。其革命性的先进设计提供了卓越的生产力和较低的拥有成本。Ceraus Zi-1000N利用ULVAC独特的外围溅射室单元实现高通量溅射。这台腔室机器在工艺腔室的每一侧都使用大的直流和脉冲-直流（PDC）磁控管，可以将电离电子注入阴极，以提高溅射速率。外围溅射室产生较大的溅射区域，使工具可以执行高度均匀的溅射过程。ULVAC Ceraus Zi-1000N还具有可选的离子束辅助沉积（IBAD）功能,允许优化薄膜特性。将IBAD室改造为现有的生产室，并利用强大的离子束源将离子束质的质粒物质如氙气和氙气束在溅射膜上，以改善微观结构和薄膜硬度。Ceraus Zi-1000N是维护友好，具有密封和灵活的环境，防止灰尘进入生产室。该资产还具有自动压力控制，便于操作和维护。可编程逻辑控制（PLC）模型和晶圆处理机器人也使停机时间最小化，使设备以最小的中断操作。总体而言，ULVAC Ceraus Zi-1000N是一个功能强大且用途广泛的溅射系统，适用于各种应用。其高吞吐量、均匀薄膜、提高产量、先进的PLC单元和IBAD功能使其成为寻求可靠溅射机的理想选择。