二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9098787 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是一种溅射系统，用于电子器件制造和涂层等许多工业和商业应用。它使用磁控管溅射沉积过程运行，利用电磁体的功率加速带正电的离子朝向目标材料。这种轰击过程导致目标材料的原子脱落，然后以薄膜形式沉积在基材表面。ULVAC CERAUS ZX 1000是一款单室设计的紧凑型机器，非常适合实验室和大型工业应用。它能够容纳各种溅射沉积工艺和材料，使其成为一种通用的生产机器。它提供了介于-20°C和250°C之间的可调基板温度，以及用于精确控制沉积过程的可调气体流量。该系统具有真空室，可排空至0.1毫巴压力。真空由涡轮分子泵和机械助推泵维持。Ceraus ZX-1000装有一个可旋转的阴极，带有一个非对称的点互锁磁体阵列和一个射频发生器，用于精确控制溅射参数和速率。目标材料由目标高度可调的水平固态支架固定到位。该系统还具有可旋转可调的基板支架，可更均匀地沉积薄膜并增强工艺控制。由于其先进的特性，CERAUS ZX 1000被广泛应用于平板显示器、太阳能电池、半导体器件等器件的制造。机器能够执行许多在这些行业中使用的生产技术，如金属升空、遮蔽和过度蚀刻。它还提供了极好的精确度,薄膜厚度均匀度小于± 2.0%。此外,它易于使用的设计允许快速、简单的操作,使其非常适合许多类型的用户。