二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9102244 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000
製造商
ULVAC
模型
Ceraus ZX-1000
ID: 9102244
晶圆大小: 8"
PVD Systems, 8" P/N: K20246 K20261.
ULVAC Ceraus ZX-1000是一种能够生产各种胶片的溅射设备。它非常适合那些需要各种薄膜沉积工艺和材料的人。溅射过程本身的工作原理是,用一种气体,例如氙气轰击目标材料。当这种情况发生时,目标材料被气体侵蚀并沉积在基板上。ULVAC CERAUS ZX 1000系统是考虑到这一点而设计的,能够在目标材料沉积过程中提供高均匀性。该单元的主要特点是包括了一系列的腔室大小和形状。这允许用户根据其特定需求配置计算机。腔室的形状大致像一个倒圆锥,使沉积在整个基板上均匀[11]。目标持有者具有耐热性,可以在工人将目标材料存放在基板上时将其牢固地固定在适当的位置。Ceraus ZX-1000在竞争中脱颖而出的主要特点之一就是其广泛的运营范围。它可以在-10°C至450°C的温度下运行,这使得它适合一系列的应用。它还具有较低的颗粒计数,特别是由于其气体清洗工具,这意味着在材料沉积在基板上之前,任何污染物都被清除。CERAUS ZX 1000还能控制压力和射频功率等参数。这允许用户微调膜结构和厚度。它还包括一系列旨在保护资产免受任何可能的错误影响的控制器和安全机制。这些系统包括自动温度控制、质量流量控制和若干联锁系统,这些系统在操作过程中提高了安全性。ULVAC Ceraus ZX-1000是一种用途广泛且可靠的溅射模型,适用于一系列应用。它为用户提供了一系列腔室大小和形状,以及控制各种参数的能力,以确保薄膜沉积的最佳条件。其广泛的工作范围和低颗粒数量进一步增加了其吸引力,使其成为生产高品质薄膜的理想选择。
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