二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9156841 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是一种先进的溅射设备，设计用于苛刻、高通量的研究和制造作业。它能够生产坚固的薄膜涂层，同时提供最佳的工艺灵活性、准确均匀的沉积和工艺稳定性。该系统具有六溅射源，减少溅射时间，最大限度地提高生产率。该源可以很容易地配置为单目标或双目标多层沉积。集成的载荷锁为载荷和卸载提供了一个封闭的腔室环境。它由具有直观用户界面的触摸屏面板和用于数据收集和记录的高端PC控制。该单元提供多种先进的溅射技术，包括磁控管溅射、双磁控管溅射、离子束溅射、反应性离子束溅射。这可以让用户实现出色的涂层质量和薄膜厚度控制。该机还具有直流直流、交流脉冲和四波调制电源，可实现最佳沉积控制和溅射速率均匀性。该工具有两个独立的气体输送系统，具有动态和静态等离子体条件，以提供精确控制的溅射和蚀刻过程。在薄膜沉积过程中，气体可以与溅射颗粒结合，产生所需的薄膜性能。它还具有一个全自动的在线过程来实时监测和控制薄膜沉积。该资产还具有一个可选的高真空负载锁定室，用于高沉积速率和高温或氧化物工艺的最佳结果。此外,可选的Auto-Improvement功能通过提供基于现场流程信号的反馈,帮助用户优化流程参数和薄膜组合,以获得最佳效果。ULVAC CERAUS ZX 1000为要求苛刻的研究和生产应用提供了可靠的溅射模型。在均匀准确的沉积控制、工艺柔韧性、工艺稳定性等方面都有优异的性能。其先进的过程控制能力和用户友好的界面使其成为要求苛刻的工业应用的理想选择。