二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9180013 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000溅射设备是一种先进可靠的薄膜沉积系统.该单元设计用于制造金属、氧化物、氮化物等材料的薄膜，用于高科技工业应用。这台机器以优异的性能和高精度着称。ULVAC CERAUS ZX 1000是一种单室溅射机，使用先进的闭环工艺室来实现高工艺稳定性和精度。该室配有一个超高真空（UHV）端口，以维持沉积室中的高基压，并且能够达到目前可用的一些最高沉积速率。Ceraus ZX-1000具有多种特点，可确保薄膜的可靠、可重复、高速率沉积。它配备了多个大功率直流和射频磁控管溅射源，以及一个电子束蒸发源。溅射源采用先进的中超高频闭环功率控制和过程监测，以及气屏蔽目标，以提高目标寿命和优越的均匀性。目标站是线路匹配，以确保均匀的薄膜厚度，并且工具支持广泛的基板，从大的4英寸晶圆到小的、刚性的基板。CERAUS ZX 1000具有广泛的工艺选择，包括手动溅射速率调整、高真空泵送速率、先进的气体溷合能力以及多项安全功能，如自动工艺终止和紧急停止。此外，ULVAC Ceraus ZX-1000还配备了车载集成PC，用于控制工艺参数和监控工艺结果。高级控制软件允许用户根据任何类型的薄膜沉积要求对资产进行编程。ULVAC CERAUS ZX 1000溅射模型是业界信赖的薄膜沉积平台。它是一种可靠、准确的机器，给用户在任何工业环境下生产优质薄膜的灵活性。凭借其先进的技术和特点，Ceraus ZX-1000是实现可靠、超高性能薄膜沉积的理想选择。