二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9270490 待售
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ULVAC Ceraus ZX-1000是一种先进的精密溅射设备，用于各种应用，包括薄膜沉积和图案、纳米结构制造和溅射清洗。该系统由真空室、RF/DC电源、RF/DC溅射枪和气箱组成。ULVAC CERAUS ZX 1000的真空室设计为达到超高真空水平。它由一个不锈钢框架和两个视口构成，可以在进行溅射过程时进行观察。该腔室有一个内置的涡轮泵送单元和压力表，允许在溅射过程中容易监测腔室压力。室内有两个架子，设计用来容纳要溅射的基板。架子一次最多可容纳四个4英寸晶片。射频/直流电源提供对溅射过程的精确控制。它能够独立控制RF和DC电压、脉冲频率和脉冲宽度,从而实现微调调整和优化工艺条件。RF/DC电源可同时控制多达四个目标。射频/直流溅射枪设计用于在平面和曲面上沉积。它配有离子蚀刻的离子源，能够精确控制材料的去除。溅射枪独特的设计，使得深溅射蚀刻和大面积的高效涂层。最后，气箱提供了对惰性气体流动的精确控制，使用户能够为溅射过程创造理想的气氛。燃气箱还设有安全开关，允许用户在紧急情况下快速关闭燃气。综上所述，Ceraus ZX-1000是一种先进的溅射机，设计用于精确的薄膜沉积、图样、纳米结构制造和溅射清洗。它由真空室、RF/DC电源、RF/DC溅射枪和气箱组成，所有这些都能对溅射过程进行精确控制。
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