二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274937 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是由薄膜沉积和溅射系统的先进技术制造商ULVAC开发的溅射设备。它是为独立控制溅射功率、脉冲频率、角速度、目标面积/压力和气流而设计的，可实现高精度的薄膜形成和提高生产率。使用ULVAC CERAUS ZX 1000，用户可以同时在单个基板上形成最多四种材料的薄膜。这是通过采用旋转目标的专利双目标技术来实现的。这项技术通过增加入射角的溅射粒子来实现更高速率的沉积。双目标技术还允许在每种溅射材料上高效注入颗粒，使其与多种基材和材料兼容。Ceraus ZX-1000采用扁平圆形溅射系统，通过允许安装多个目标来提高效率。该单元允许优化成膜条件和快速的工艺变化。它还兼容包括Ar、O2、N2和稀有气体在内的多种类型的入口，以及包括直流电（DC）、低频（LF）和射频（RF）放电在内的多种来源。CERAUS ZX 1000由真空室组成，由闸阀密封，并结合了防止热量泄漏到腔内的气流式冷却机。腔室内部是溅射工具，包括目标、拼盘、地板和动力装置。溅射过程利用磁场优化被溅射材料的表面。这确保了更均匀的薄膜沉积。目标材料可以选择符合特定的应用要求，范围从碳、铝、铜和不锈钢。ULVAC Ceraus ZX-1000完全自动化,包括先进的安全功能,以实现最高的效率和保护。此资产易于操作,包含多个功能集,是工业和研究应用的理想解决方桉。