二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274947 待售
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ID: 9274947
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Sputtering system, 8"
Turbo pump: TMP 202LM
Reflow
Degas
Ti/TiN
(2) AI
Cryo pump: Cryo-T8S
With (2) RS10 Refrigerators
Cryo pump: Cryo-T8PN
With (2) RS5 Refrigerators
1995 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000是一种用于高质量物理气相沉积(PVD)工艺的溅射设备。它能够将各种薄涂层沉积到任何形状、大小或材料的基板上。它特别适合于各种存储磁盘涂层,如硬盘存储、半导体、液晶和太阳能电池。ULVAC CERAUS ZX 1000具有两个磁控管溅射阴极和一个用于溅射沉积的电子束枪。它的双阴极溅射能力允许高沉积速率,高达400 nm/min,并且可以达到SRP<1%。电子束喷枪的高方向粒子流可以提供更高的精度,从而提高烧结速率,改善涂层的附着力。此外,该系统还配备了可用于氧化处理的氧控室和超声波后表面清洗,以制备沉积底物。为保证设备的性能和准确性,它内置了检验和测试工具来验证涂层的质量。这包括端点检测、厚度测量和其他常规测试,以观察工艺条件和成品。为了使机器的操作更容易,Ceraus ZX-1000有了一个工具控制器,可以通过基于Web的访问从任何地方操作。CERAUS ZX 1000溅射资产为用户提供了许多优势。适用于多种涂层应用,包括光学元件、磁光或磁光记录介质、薄膜太阳能电池。它能获得较高的沉积速率,同时提供精确和准确的结果。该型号还内置测试和检查工具,可以远程操作,方便高效。ULVAC Ceraus ZX-1000溅射设备具有多种功能,是一个为用户提供多种选择的有利系统。
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