二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9390643 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是一种溅射沉积设备,非常适合需要精密薄膜沉积的半导体工业应用。该系统利用ULVAC全自动、中央真空式的处理，在任何类型的表面上以极高的精度制造出均匀的薄膜涂层。该单元与广泛的溅射材料兼容，包括金属、金属氧化物、氮化物和碳材料。它的中央真空机器，加上一个自生的闭环控制机制，有助于创造一个清洁的操作环境，确保不会受到外部来源的污染。ULVAC CERAUS ZX 1000具有每个目标材料的源组件,允许灵活的沉积技术。这包括使用单阴极和双阴极配置的能力，以及定向溅射。该工具还具有有源磁场，允许用户实现高精度沉积的线性离子通量瞄准，以及低温处理。此外，它允许在平面和柱状构型中均匀沉积。Ceraus ZX-1000利用膜生长技术精确控制层厚度和膜成分。该资产利用一系列晶圆旋转阶段，在基板的所有侧面实现均匀沉积，避免了表面性质的不必要变化。此外，还可采用多级温度控制来微调薄膜性能。该腔室还采用了八口式盒式涡轮泵模型，以实现最佳的泵送能力，以及用于静电预防的莱顿罐电路。最后，CERAUS ZX 1000内置了多种安全功能，如安全监视器显示屏和互锁门。这可以保护用户免受意外接触危险过程的影响。此外，通过自动装卸装置，该设备能够24小时运行，无需操作员。这确保了持续和高效的生产过程。总体而言，ULVAC Ceraus ZX-1000是半导体工业应用的理想溅射系统。凭借其最先进的技术和可定制的功能,它可以快速、安全地提供精确的结果。