二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9409842 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是一种先进的溅射设备，旨在以高度精确的方式将薄膜材料沉积到基板上。它利用多种原料，包括金属、合金、金属、聚合物、绝缘体和其他特种材料，创造出一系列多样的薄膜结构。该系统能够以三种不同的沉积过程，即直流或磁控管溅射、离子束溅射（IBS）和电子束蒸发（EB）提供高达四米见方的沉积面积覆盖。该装置具有坚固的腔室设计，配有4级旋转涡轮分子泵机，使腔室内的压力保持在大气层的百万分之一以下。它有一个易于交换基材的多位置倾斜炮塔，以及一个在过程运行过程中保持最佳腔室环境的外部样品烘烤选项。此外，该室还有一个控制大气的内部气体喷射工具和一个自动流量调整的自动气体控制单元。该资产包括Tofutron RF/DC电源和先进的溷合脉冲电源技术以及高频发电机选项,可实现高沉积速率和提高工艺稳定性。电源可以与其他等离子体过程元件耦合，包括HF/DC双极电源和具有高频电源配置的先进磁控管电源。模型内多个参数的这种组合允许精确控制材料沉积速率、均匀性、附着力和结晶完美度。ULVAC CERAUS ZX 1000为高精度溅射应用提供了多种功能。它拥有先进的严密过程控制监控设备，包括氧气和惰性仪表、压力表显示屏和SEM照片。它还允许通过触摸屏界面远程监视和控制系统。此外，该装置还提供先进的安全功能，如气体检测机、清洁工具和紧急关闭功能。总之,Ceraus ZX-1000是一种先进、可靠的精密溅射应用设备.它提供各种最先进的功能,例如坚固的腔室设计、多种沉积过程配置、高级RF/DC电源和集成的安全系统。这些特性保证了高质量的薄膜工艺，使模型成为研究和生产溅射应用的理想选择。