二手 ULVAC Ceraus #154325 待售

ULVAC Ceraus是一种用于薄膜沉积和器件制造的溅射设备。该系统由四个主要组件组成：真空室、超高压真空泵、遥控溅射源和电源。真空室是Ceraus单元的主要部件，是沉积过程中放置基板的大的、密封的金属盒。它由一个带有可移动盖的圆柱形管组成，包括隔离阀、压力表和视口。隔离阀提供对机器中其他部件的访问，而压力表和视口则用于监控腔室中的真空水平和工艺条件。超高真空（UHV）泵用于降低腔内压力，并排出任何残留气体。特高压泵的工作原理是产生真空，然后由初级、次级和三级泵的组合来维持真空。远程溅射源是一种等离子体设备，其阳极和阴极连接到一个电压源。它由一个磁性工具组成，可以控制等离子体。遥控溅射源用于以受控方式将薄膜沉积到基板上。电源用于提供溅射过程所需的电压。它可以采取DC、RF或脉冲DC的形式。ULVAC Ceraus溅射系统能够沉积各种材料的薄膜，包括金属、合金、半导体化合物和介电层。该资产用于光子器件、平板显示元件、太阳能电池和薄膜涂层等应用。该控制模型允许对沉积过程进行精确控制，使其适用于高端制造。