二手 ULVAC Ceraus #9137188 待售

ULVAC Ceraus是一种高性能溅射设备，设计用于对薄膜沉积进行高级控制。为大面积基板和高吞吐量提供了良好的均匀性。该系统采用一个真空室设计，是一个装有多个加工站----源、转运和目标----的单室，可在其中执行装载、基板接收和工艺之间切换等操作。该单元可处理半导体、金属、陶瓷、玻璃等多种基材。Ceraus机配备了高性能的射频电源和过程控制器，以其四掩模操作模式实现了卓越的沉积能力。四掩模模式同时使用多个目标，使得每个目标之间的射频功率分布可变。这可以极好地控制沉积速率和薄膜均匀性，同时使技术人员能够沉积成分和厚度不同的高度多样化的薄膜。此外，该工具利用先进的沉积绝缘和温度控制系统，以确保过程的最大效率和重复性。保温资产通过限制过程中腔壁的热损失来促进均匀沉积，而温度控制模型则主动调整沉积温度以达到最佳工艺效率。ULVAC Ceraus设备专为高吞吐量应用而设计,具有快速的基板加载和交换时间,可加快生产速度。它易于使用的用户界面提供了广泛的功能，如配方输入、过程监控和数据采集。该系统还支持联网，允许远程监控和访问进程参数。Ceraus溅射装置是光伏、传感器、LED生产、MEMS、微机械等领域各种先进应用的理想选择。它可以提供更高的沉积速率和优质的薄膜,同时提供出色的均匀性、可重复性、较长的使用寿命以及与各种材料的兼容性。