二手 ULVAC CS-200 #9313832 待售
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ULVAC CS-200是一种工业溅射设备,旨在提供各种薄膜材料在各种基板上的精确高效沉积。它利用阴极电弧蒸发,这是物理气相沉积(PVD)的一种形式,将材料沉积在目标基板上。该系统可用于生产具有纳米结构特征的涂层,用于电子、汽车、光学、生物医学等多个行业。CS-200溅射装置可以准确快速地沉积不同类型的薄膜材料。它包含一个电隔离真空机、一个6弧等离子体室、一个基板支架和一个基板传递工具。电弧等离子体的目标材料被密封在crucibles中,加热到高于沉积所需的温度。然后将加热的材料汽化并转移到基板支架,电弧等离子体充当汽化材料和基板支架之间的屏蔽,防止两者接触。ULVAC CS-200溅射资产可以定制,以适应不同的薄膜生产过程。它也有多种工具来控制和测量过程中的沉积速率。这些工具包括离子效应量化(IEQ)装置,测量入射离子的能量;基板温度测量模型,监测目标基板的温度;保持稳定沉降速率的流动控制器;和可旋转磁场监测器,测量围绕基板支架旋转的等离子体场。CS-200可以在各种基板上提供均匀的薄膜涂层,包括金属、塑料、陶瓷、玻璃和其他材料。它还有一个可编程的控制设备,可以用来调整过程的参数如沉积速率、均匀性和薄膜的组成。该系统经济高效可靠,是工业溅射应用的热门选择。
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