二手 ULVAC CS-200 #9328776 待售
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ID: 9328776
优质的: 2007
Sputtering system
P/N: RS13-30170A
Carrier: 220φ Tray
Cathode: T/S Variable, 12"
SiC Heater
Maximum temperature: 300°C
RF Power supply: 3 kW
2007 vintage.
ULVAC CS-200是一种高质量的溅射设备,专为独立或在线操作而设计。它是市场上首屈一指的系统之一,由业界公认的薄膜加工应用领导者ULVAC开发。CS-200利用磁控管和二极管溅射甲烷、氙气和辅助气体,允许磁场增强溅射。它采用独特的专利双频发生器,允许高频和低频溅射。这项技术的结果是,它产生了非常干净和均匀的薄膜,也可以比其他系统达到更高的沉积速率。ULVAC CS-200设计用于大批量生产环境,其功能非常适合于此目的。它具有双频13.56MHz发生器,可以精确控制溅射过程的速率和电压。该发生器还允许接受更高的溅射功率,从而导致更高的沉积速率。它还具有一个自动覆盖传输系统,允许用户快速和方便地准备他们的基材溅射沉积。CS-200还拥有广泛的硬件选项,例如用于旋转溅射的终端效应棒、铲斗和旋转基板。该单元还具有广泛的软件选项可供选择,如基于配方的溅射/溅射、溅射参数调整以及多个基板/目标溅射。此外,该机器还配备了内置的可编程逻辑控制器(PLC),使溅射过程的自动化变得简单高效。ULVAC CS-200还为用户提供了许多安全功能,包括真空工具泄漏传感器、接地故障保护器和完整的符合CE标准的资产。它还提供了广泛的用户选项,允许轻松快速地定制模型以满足不同的溅射需求。总体而言,CS-200是一款顶级的溅射设备,具有多种功能,既适合大批量生产,又适合小型专业溅射。它配备了一系列安全功能,让用户在使用系统时有信心。它还提供了一系列硬件和软件选项,以确保用户可以根据他们可能有的任何需求定制设备。
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