二手 ULVAC CS-500 #9313964 待售

ULVAC CS-500是一种溅射设备,用于将材料薄膜沉积到表面上。该系统非常适合生产高性能涂层、MEMS和其他微电子结构等应用。该单元由一个主真空室组成，由其他几个真空室围绕，用于样品加热、射频偏置、平面磁控管溅射等过程。主室是放置目标材料，然后溅射到装置表面的地方。主室配备了一系列的压力、气体和泄漏探测器，以及多种安全控制，以确保溅射过程的安全和操作。CS-500利用了一系列平面磁控管溅射目标，无需特殊工具即可快速轻松地改变。每个目标可加热至400°C，可用于直流和射频溅射。平面磁控管目标可以配置成多种配置，可用于将多种材料沉积到表面，如Ti/W/Au、金刚石状碳、非晶硅和其他合金。ULVAC CS-500还包括一个集成的质量流控制器，可以精确调整溅射压力和精确控制沉积过程。该机还为优化溅射工具提供了广泛的参数，如温度、压力、气体成分和目标配置。这为用户提供了进行溅射实验以满足其需求的多功能性和灵活性。为确保沉积材料的质量和均匀性，CS-500配备了一系列内置测量装置，如涡流计、石英晶体微天平和红外显微镜。资产还具有内置的用户友好界面,可用于查看溅射的材料数据。总之，ULVAC CS-500是一种强大的溅射模型，为溅射专家进行各种实验提供了多功能性和灵活性。该设备使用方便，具有一系列内置功能，允许用户调整参数以获得最佳效果。无论您是在寻找涂层沉积、MEM设计还是更先进的材料沉积,CS-500都是满足您需求的可靠高效的系统。