二手 ULVAC EBX 2000 #293792915 待售

ULVAC EBX 2000是为生产高品质薄膜而设计的高性能溅射设备。它能够制造各种薄膜材料，包括金属、半导体材料、电介质、绝缘体，甚至磁光材料。溅射系统建立在一个3轴平台上，使它在沉积过程的每一步都能提供令人印象深刻的精度。ULVAC EBX-2000利用两个独立的溅射喷枪、一个分辨率为0.2 nm的线性编码器和一个气体监测器来提高薄膜沉积的精度。通过此设置,EBX 2000能够以恒定速率溅射平面和曲面。EBX-2000还具有额定功率为1 x 10-8 torr的超高真空室。这种真空程度保证了每一个工艺中的高质量膜沉积。它还允许在该过程中对腔室进行接近零的污染，从而实现有效的生长速度和对基板的最小污染。ULVAC EBX 2000配有多种配件,可进行柔性基板加工。其中包括碳膜加热器、晶圆对准板、机械传递臂和射频发电机。利用这些附加工具，ULVAC EBX-2000能够提高溅射速率，以及基板的均匀性。EBX 2000具备各种监控功能,使操作员能够监控和管理沉积过程的各个方面,以确保过程正确完成并具有最佳效率。这包括远程监控流程参数、使用实时摄像机绘制目标位置图形以提高精度、控制排气单元功能以及使用直观界面进行高级诊断。总之，EBX-2000是溅射能力的范例。它配备了创新的特性，在溅射过程中提供了高精度和精确度，允许广泛的材料用于薄膜沉积。凭借其超高真空机、众多配件、精准监控能力，是生产优质薄膜的理想选择。