二手 ULVAC EBX 2000 #9243792 待售

ULVAC EBX 2000是一种溅射设备，设计用于制造薄膜，用于开发、生产和质量控制。该系统提供高通量、低维护的薄膜沉积，具有优异的均匀性和薄膜性能。ULVAC EBX-2000易于操作,可处理多种材料和沉积应用。该单元采用双室设计，由源室和负载锁室组成。这种设计允许机器同时容纳两个目标，从而允许更高的吞吐量。负载锁室可容纳样品处理,以便源室保持清洁,并且沉积过程不受干扰。EBX 2000的Source Chamber由ICN型磁控管源主板、等离子体源、机械泵、扩散泵和背衬泵组成。ICN型磁控管源为溅射过程提供初级能量。它驱动等离子体并产生高度密集的高能离子束。然后将此光束定向到目标上,导致目标材料从其表面弹出并沉积到基板上。机械、扩散和背衬泵为保持源腔清洁和不受污染提供了连续吸力。EBX-2000提供了广泛的沉积过程，从低温到高温。它还能够溅射蚀刻，允许从样品中去除薄膜或薄层。该工具可以通过控制薄膜厚度和目标基板距离来实现卓越的均匀性和可重复性。此外,集成的自动化配方功能使操作员可以轻松地在配方和流程之间切换。利用ULVAC EBX 2000,用户可以实现高效薄膜沉积的高度均匀、可重复的溅射过程。它设计多种多样,而且用户友好,因此非常适合开发和生产应用程序,确保了一致的质量和性能。