二手 ULVAC EI-5 #293690584 待售

ULVAC EI-5是日本设计的工业级溅射系统，由ULVAC Technologies制造。它具有一个带磁场发生器和高度稳定的真空室的整体结构，是高精度物理气相沉积的最佳选择。EI-5能够同时处理两种类型的目标，使其对各种复合薄膜生产具有高度的通用性。它具有紧凑的设计、良好的操作灵活性和较低的功耗,非常适合长时间连续运行。ULVAC EI-5的磁场发生器由高效耐用的双旋转磁控管、直线电机驱动器和电流监视器组成。通过控制电流和辐射DC/RF功率，EI-5能够轻松、精确地控制磁控管溅射。使用单个目标的最大溅射速率为510 nm/min。ULVAC EI-5的真空室采用新设计的6口袋式电池，并配有粗加工阀。主动粗加工系统有助于增强真空稳定性，大大减少调整真空压力所需的时间。室内还涂有不锈钢网，以减少紧贴材料。EI-5效率高，吞吐量高。它配备了包括用于控制和监控的集成PC、各种高精度传感器以及改进的过程控制系统在内的各种功能。它是光电、平板显示器和半导体生产工艺的理想选择。