二手 ULVAC EI-5 #293824737 待售

ULVAC EI-5是一种用于在大面积基板上涂覆薄膜的溅射设备。它利用电子冲击（EI）溅射工艺将单组分薄膜或多组分薄膜薄膜沉积在平坦或弯曲基板表面。该系统包括一个EI源，利用电子束的能量撞击阴极目标，产生溅射材料在基板上形成薄膜涂层。EI源可用于沉积多种材料类型，包括金属、合金、绝缘体和电介质。EI-5溅射装置采用双区域腔室设计，使大面积的基板具有高均匀性。该室由两个真空室组成：一个主室和一个缓冲室。样品装入主室，抽出的缓冲室有助于保持溅射过程中主室的压力。这使得涂层在整个样品表面上均匀形成。ULVAC EI-5机还具有视图端口和侧面访问端口,以便在涂层过程中对样品进行目视检查。EI-5溅射工具包括具有大面积目标的强大电子束源，能够产生高膜密度和均匀性。ULVAC EI-5还包含一个可编程的射频电源,用于优化特定材料的形成。这使得溅射工艺可以针对不同的薄膜材料和基材类型进行定制。此外，该资产还配备了氧化镁（MgO）陶瓷目标支架，能够提高沉积速率，提高溅射材料对基材的附着力。最后，该模型包括车间真空设备和安全设备，其中包括安全联锁系统。这样可以确保设备安全运行,并遵循正确的操作程序。此外，该机采用符合人体工程学的布局设计，便于操作、维护和清洁。总体而言，EI-5是一种高度先进的溅射工具，可用于将各种材料的薄膜沉积在具有高均匀性和沉积率的大面积基板上。凭借其可编程射频电源、MgO陶瓷目标支架以及先进的安全特性，是PVD薄膜涂层应用的理想资产。