二手 ULVAC EI-5 #293828476 待售
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ID: 293828476
优质的: 2006
E-Beam evaporator
Pump
Pump cover
Blue box
Power supply
2006 vintage.
ULVAC EI-5是一种溅射设备,用于生产电子元件和设备。它是一种工业工具,旨在为各种电子元件创造薄膜层提供高效可靠的方法。EI-5利用一个离子室,里面装有许多溅射目标。这些目标以不同角度放置,以提供优化的均匀性和清洁度。在腔内,目标受到强大的放电。这就产生了一个真空,然后用惰性气体填充,例如氙。当惰性气体通过电场时,它会引起离子的轰击,从而使物质从目标表面溅出。这种溅射材料随后粘附在基板上,在它们的表面上形成一层薄膜。ULVAC EI-5的设计能够调节系统的压力和电压,以保持所需的薄膜厚度。另外,该单元的设计还允许在同一个腔室中使用多个目标和基板。这一特性使得在单个加工周期中应用多个薄膜层成为可能,从而提高了生产效率。EI-5还配备了先进的安全和监控功能。它有一个在线安全监视器,检查机器的压力和电气参数,以确保它们符合详细的安全准则。还包括一个电弧探测器,用于实时监控刀具的电气参数。这使操作员能够快速调整资产,以避免任何潜在的危险。总之,ULVAC EI-5是一种工业溅射模型,设计用于高效生产薄膜层、金属膜和电子工业中使用的其他组件。EI-5易于操作、安全功能和先进的监控能力,是满足溅射需求的可靠且经济高效的选择。
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