二手 ULVAC Ei-5K #293592010 待售

ULVAC Ei-5K
製造商
ULVAC
模型
Ei-5K
ID: 293592010
晶圆大小: 6"
E-Beam evaporators, 6".
ULVAC Ei-5K是为实验室和工业应用而设计的高性能溅射设备。它是一种全自动沉积系统,可以使材料可靠、可重复地沉积到基板上。ULVAC EI 5K提供了具有多种工艺能力的先进溅射工具解决方桉,包括ULVAC无浆溅射方法,它允许高沉积速率、高质量的薄膜和出色的薄膜到薄膜的可重复性。Ei-5K包括五个溅射阴极的标准构型,允许沉积五种不同的目标材料。每个阴极都可以针对不同的离子密度和气体流速分别进行调整,给用户提供各种各样的选择。此外,EI 5K还可以容纳头,以实现多个目标材料的同时沉积或材料的远程等离子体增强沉积。ULVAC Ei-5K还包括ULVAC高级多级端点检测单元,能够控制整个沉积过程。这台机器允许用户监视被沉积材料的厚度,并精确确定一个过程何时完成。它还确保沉积正确数量的材料,从而在多个运行过程中产生可重复的结果。此外,ULVAC EI 5K允许用户调整目标角、功率密度和被溅射材料等沉积参数,使其能够微调工艺参数,并为其应用优化薄膜。此外,功能强大的专用软件还允许用户保存和存储数据,使他们能够快速轻松地回忆以前的设置或监视沉积过程。总体而言,Ei-5K是一种先进的溅射工具,可为可靠、可重复和高质量的影片提供多种功能。EI 5K凭借其多种流程功能和精密的端点检测资产,以及直观的用户界面,让用户轻松操作机器,达到最佳效果。
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