二手 ULVAC Ei-5K #293603151 待售

ULVAC Ei-5K是一种用于薄膜沉积的溅射设备。它是为高吞吐量而设计的工业级溅射系统。该装置具有双磁控管溅射源，可将多种材料同时沉积在基板上。该机器还包括一个可旋转的目标和一个大的粗间距，这有助于实现更好的均匀性。该工具具有可容纳5,000mm^2个基板的大腔室,允许高吞吐量和减少加载时间。基板安装是机动化的，能够快速装载和卸载基板，并允许基板旋转。该资产具有先进的高温加热元件和沉积过程中基板的可调冷却模型。该室还配备了100级洁净室泄漏过滤设备，能够有效清除腔室中的颗粒，确保清洁操作。该系统采用ULVAC原始RIB控制单元进行控制和监控。这允许在沉积过程中对溅射配方参数进行实时分析、调整和优化。该机采用多任务执行方法进行沉积优化和故障检测。RIB控制工具还允许监测基板温度、压力、电弧抑制电流和基板偏置电压。ULVAC EI 5K服务于Si晶片OLED显示器涂层、内存设备、3D结构设备等多种不同的应用。这种溅射资产适用于任何需要高通量和精确控制才能生产薄膜的应用。该模型提供了最大的灵活性,使用户可以轻松地根据自己的需求调整配方。Ei-5K是一种强大可靠的溅射设备，适用于高精度的薄膜沉积。