二手 ULVAC Ei-5K #293604475 待售

ULVAC Ei-5K溅射设备是一种高性能、多功能的系统，用于在金属、半导体和陶瓷基板等多种材料上沉积薄膜。它主要用于生产平板显示器和太阳能电池，以及生产其他各种电子设备。ULVAC EI 5K的设计目的是提供更高的薄膜自动溅射，同时提供更高水平的基板和薄膜均匀性、优异的附着性能、低污染水平和更短的加工时间。Ei-5K具有5-Kilowatt、中频（MF）直流磁控管电源,使其能够溅射各种金属和其他材料。它配备了两个阴极目标，并有四个处理室，包括一个预处理室、一个沉积室和两个热化室。该单元能够处理尺寸高达6.7英寸（17厘米）的基板，处理速度高达每小时40个晶圆，或单个晶圆高达13英寸（33厘米）。EI 5K是自动化的,具有液晶触摸屏操作员控制和内置的安全联锁、可编程序列控制、过程控制软件以及自动和手动控制模式。它还包括一个用于脱气基板的真空室，一个自动直观的样品装卸机，以及一系列可选的配件。其先进的功能集允许轻松集成到现有生产线中。ULVAC Ei-5K以其卓越的精确度和可重复性而着称,即使在过程控制水平较低的情况下也能得到一致和准确的结果。它的粒数低、设计低调、功耗降低，使其成为一个易于安装的节能选择。这种工具还与各种气体兼容，允许在生产要求方面有更大的灵活性。总体而言，ULVAC EI 5K溅射资产是一种有效、用途广泛、易于使用的薄膜沉积到一系列基板上的工具，适合多种应用。它提供了安全、可靠和经济高效的快速、低成本的解决方桉,使其成为商业和工业应用的理想选择。