二手 ULVAC Ei-5K #293607249 待售

ULVAC Ei-5K是ULVAC, Inc.制造的高度通用的溅射设备。它是一种磁溅射沉积工具，利用低真空、溅射的工艺在基板或其他材料上涂上薄膜。ULVAC EI 5K有一个宽度为9"的5"磁区目标，以获得更大的通用性。该溅射系统旨在提供最大的工艺效率和可重复性。Ei-5K从目标间隙到压力上升的响应时间非常快，能够快速启动和可重复性。此外，该机组具有非常低的功耗和内置的O形圈密封单元，用于有效的过程控制。该机还配备了多点步进电机，用于精确定位目标到基板。EI 5K的先进特性，例如最先进的直接二极管等离子体，使得它非常适合一系列的应用。其出色的遮蔽和遮蔽精度，非常适合各种先进的薄膜沉积工艺，如薄膜涂层、超晶格、复杂的薄膜结构和PVD工艺。除了其出色的精确度外，该工具还提供了非常高级别的工艺控制，非常适合高质量薄膜的精密沉积。ULVAC Ei-5K还具有用于高通量应用的双站晶片负载锁定室和灵活的自动化选项,以满足任何要求。总体而言，ULVAC EI 5K是一种功能强大、准确、高效的沉积工具，能够进行多种处理。其卓越的精确度、低功耗和强大的、严格控制的工艺使其成为一系列薄膜沉积工艺和高通量应用的理想选择。