二手 ULVAC Ei-5K #293636264 待售

ULVAC Ei-5K是一种高效操作和高精度控制相结合的溅射系统。它适用于薄膜沉积，在这种过程中，通过用高能离子轰击目标并将其沉积到基板上来应用材料。ULVAC EI 5K采用内部紧凑设计,采用封闭阴极腔,减少了对加工气体的潜在暴露,并将其捕获在内部,以便进行精确控制。Ei-5K具有多种特性，非常适合薄膜沉积。它具有独立调节的电离和沉积电压，允许精确控制溅射过程。此外,实施的磁控管操作可确保目标基板的均匀性,从而实现薄膜厚度的均匀性。EI 5K也有一个双平面磁控管，允许两种不同的材料从同一个目标共沉积。此功能非常适合创建多层结构、增加材料性能并允许量身定制的薄膜设计。此外，ULVAC Ei-5K由于其自对准悬挂系统而简化了维护程序，提高了溅射的准确性和可重复性。最后，ULVAC EI 5K具有多种精密薄膜沉积的元件和工具。它有一个可选的用于精确薄膜沉积的机械臂，以及一个真空吸尘器机器人，以保持在工艺室内清洁。它还有许多监视和控制系统,包括视频监视器和PC控制。总而言之，Ei-5K是一种先进的溅射系统，由于其高精度的控制、高效的操作和方便的维护程序，非常适合薄膜沉积。其双平面磁控管和可选的机械臂为沉积过程提供了灵活性和定制，从而提高了材料性能和量身定制的薄膜设计。凭借其众多的组件和工具，EI5K使薄膜沉积更容易、更准确、一致。