二手 ULVAC Ei-5K #9248804 待售

ULVAC Ei-5K是一种用于在样品表面上沉积薄层材料的溅射设备。适用于多种应用，包括平板显示器、光电、太阳能电池和磁盘驱动器。ULVAC EI 5K能够处理直径达200毫米的晶片，并有一个集成的离子清洗站。溅射系统具有ULVAC DR-100二极管式溅射源，包括四个同时沉积四种不同材料的阴极。可调级允许精确控制基板与阴极之间的火花距离，确保层厚沉积一致。Ei-5K还具有数字基板温度传感器（DSTS）。这种高精度温度传感器可以准确监测基板上的沉积温度。除了溅射单元外，EI 5K还有一个包含离子源和离子清洗架的辅助截面。离子源由离子枪和集成离子源适配器组成，可以精确控制溅射层的均匀性和可重复性。集成的离子清洗机架通过去除颗粒和表面污染物，确保溅射层均匀性。ULVAC Ei-5K是一个易于使用的机器，有一个直观的软件包，用于控制和监测沉积过程。软件还包括一个实时查看沉积的图形界面，允许在必要时更精确地调整沉积参数。ULVAC EI 5K可以手动或自动作业控制模式运行,还具有端点监视器,可实时反馈沉积过程的进度。自动作业控制模式对于大型沉积运行特别有用,因为它允许用户使用参数配置沉积作业,然后让工具自主运行直到作业完成。总体而言,Ei-5K是一种高性能溅射资产,非常适合各种应用,从平板显示器到光电和太阳能电池。它方便用户，为样品表面的薄层材料沉积提供了可靠的平台。