二手 ULVAC Ei-5K #9364552 待售

ULVAC Ei-5K是为硬质涂层应用而设计的高性能溅射设备。它是ULVAC产品线的最新发展之一。该系统具有易于控制溅射源的气体管理单元，以及用于精确压力控制的先进动态真空设计。该机采用1-2 kW电源提供直流和射频溅射,可实现出色的薄膜均匀性和较高的沉积速率。ULVAC EI 5K还具有强大的基板夹紧工具,可实现最大的工艺稳定性和可靠的结果。Ei-5K有一个八目标载荷锁定室和一个组合的冷却火炬和加工室。该腔室适用于处理各种基板，包括最大610毫米的大面板。和圆柱形物体。其目标载荷能力可达八个目标，并拥有双燃气箱资产。EI 5K有一个独特的支持模型来处理不同磁体和其他元素的多个沉积过程。ULVAC Ei-5K提供用于检测气体泄漏的氦气泄漏检测器以及用于监测和控制基板温度的最先进的设备。它还具有多段电源控制系统，以实现各种材料的精确膜沉积。ULVAC EI 5K还具有数字数据采集单元，允许计算机或PLC进行远程控制和数据记录。Ei-5K是各种硬质涂层应用的绝佳选择,例如陶瓷零件涂层、医疗设备和ITO薄膜应用。它也适用于磁控管和等离子体辅助化学气相沉积（PACVD）工艺。该机具有目标基板距离均匀性和稳定性，基板加热受限，温度控制良好。为确保可靠和卓越的性能,EI 5K提供了多种自动功能,如自动清洗、自动排气、自动故障和自动锁定。ULVAC Ei-5K是那些致力于高性能硬质涂层应用的用户的理想选择。