二手 ULVAC Ei-5K #9364553 待售

ULVAC Ei-5K是一种小巧尺寸的高精度溅射设备,在ULVAC溅射系统系列中具有卓越的价值和性能。ULVAC EI 5K具有5.2 × 10-2Torr的总真空和5.0 × 10-7Torr的基本压力,具有极高的溅射产量和精确的处理能力,是研究和生产应用的热门选择。该系统具有1000W的射频功率基板加热级,具有前后温度控制功能。它还拥有0-60V直流电源、5轴机械手和分辨率为0.1nm的高精度石英玻璃位移计。Ei-5K随附各种溅射源选项,包括Al、Na、K、Cu、Si和Ta等标准项,以及2"和4" ULVAC-Lonj®源。该单元还可以配置可选的等离子体组合溅射源（PCSS），用于同时DC/RF等离子体溅射。高端性能可以通过EI 5K提供的接口模块来实现。这些特定于应用程序的模块使用户能够执行广泛的沉积过程，如反应性溅射、同时磁控管溅射和高速率溅射。ULVAC Ei-5K用户友好、操作方便,非常适合任何实验室,从大学实验室到工业生产环境。它提供了一个直观的用户界面，易于理解的图标，一个优秀的真空度监控机器，以及一个数据采集工具，易于使用的功能。配备不锈钢和陶瓷部件，ULVAC EI 5K还提供卓越的耐用性和较长的使用寿命。它还具有卓越的安全性，具有很高的抗震和抗振动能力以及全自动真空启动，非常适合任何研究实验室。总体而言,Ei-5K是一项顶级的溅射资产,可提供卓越的性能和可靠性。EI5K具有全面的源选项、坚固的结构和直观的控制模型,是任何研究或生产环境的理想选择。