二手 ULVAC ei-6 #293758600 待售

ULVAC ei-6是许多工业和科学实验室广泛使用的薄膜沉积溅射设备。它是一种先进、经济的溅射系统，设计紧凑。特别适用于半导体、显示器和太阳能电池上的薄膜沉积。Ei-6具有创新的设计,可以在非常小的空间中实现高功率密度,同时最大限度地提高过程均匀性。该单元包括直径6英寸的圆形目标、具有4个直流源的6口袋射频发电机、超高速脉冲控制器、气体质量流控制器和真空卡盘。该机器能够用多种目标材料进行反应性和非反应性溅射过程。ULVAC ei-6溅射工具是利用在线真空资产为高速薄膜沉积而设计的。在连续阴极旋转和射频功率控制的真空室中进行溅射过程。电源和控制组件内置在模型中,无需外部控制器或电源。这样可以提高流程稳定性并提高效率。超高速脉冲控制器使溅射过程能够在很短的时间内从低功率切换到高功率。与传统的溅射系统相比，这样可以在更短的时间内进行厚膜沉积。6口袋射频发电机能够向目标输送高达3 kW的功率。脉冲持续时间是可调的，允许优化过程开发。双级高温真空卡盘能够快速加热和冷却基板，使大面积的层均匀沉积。最后，ei-6溅射设备提供了广泛的工艺选择。此外，其简单的操作，加上直观的软件设计，使得它非常适合初创实验室和电影开发商。该溅射系统为薄膜沉积提供了可靠、通用的解决方桉。