二手 ULVAC EI-7K #293603154 待售

製造商
ULVAC
模型
EI-7K
ID: 293603154
晶圆大小: 6"
E-Beam evaporators, 6".
ULVAC EI-7K是一种专为功能性、准确性和灵活性而设计的溅射设备。它具有广泛的工艺选择,从薄膜沉积到底物蚀刻,甚至AOI,一种离子辅助工艺。ULVAC EI 7K具有模块化设计,由一个主腔室、一个主处理器和一个测量分析系统三个独立的主组件组成。主溅射室操作简单可靠,具有高效的溅射能力。它还包括先进的安全功能和一个计算机化的性能管理单元,这有助于确保业务高效、平稳地运行。主处理器使用闭环和反馈系统来监视和控制沉积参数和条件。测量和分析机提供了以多种方式可靠地监测和分析过程结果的能力。真空传感器阵列确保腔室保持在正确的压力下,而精密的传感器则测量薄膜厚度。该工具还提供了多种分析能力来评估薄膜和基板的性质,如X射线发射、能量色散光谱和扫描电子显微镜。EI-7K带有多个溅射配置选项,从标准的单源设置到复杂的多源配置。EI 7K具有沉积多种材料的能力,包括金属、合金和氧化物材料。该资产还提供了加工各种基板的能力,从玻璃到硅再到陶瓷等等。ULVAC EI-7K具有全面的功能和多功能性,是满足各种溅射需求的理想选择。它灵活、用户友好的操作使其成为一个通用的模型,非常适合任何用户的需求。对于那些在溅射中需要精确度和精确度的人来说,ULVAC EI 7K是理想的使用设备。
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