二手 ULVAC EI-7K #293604476 待售

ULVAC EI-7K
製造商
ULVAC
模型
EI-7K
ID: 293604476
E-Beam evaporator.
ULVAC EI-7K是由真空技术解决方桉和设备的领先供应商ULVAC, Inc.制造的溅射设备。它是一种最先进的沉积系统,用于将材料层沉积到不同大小的基板上。ULVAC EI7K采用传统的平面磁控管溅射工艺,在真空室中进行。磁控管溅射过程是一种真空沉积技术,它通过将高能粒子轰击到基质上来沉积所需材料的薄膜。这一过程是由室内磁体产生的电磁场实现的。EI-7K是针对各种沉积要求而设计的,如薄膜、导电膜和保护膜。沉积单元的最大沉积速率高达6 Å/s,可处理工作面积小至40x60mm的多个精密配置。本机设有1-2个气体入口的锁载室、基板级、溅射阴极、100 mTorr型真空泵和副泵。此外,EI7K工具有六个溅射源,每个溅射源都有一个单独的电源,并且能够同时进行氙气和反应性溅射。ULVAC EI-7K资产适合工业生产和研发,因为其用户友好的设计是易于操作的过程控制软件。该模型通过提供准确和高效的方法彻底改变了生产过程。它的网络通信界面允许对沉积过程进行远程监控和快速的适应性。此外,该设备的精度和可重复性使其成为高产生产的理想选择。ULVAC EI 7K是一个能效系统,实际上消除了二氧化碳排放。利用闭环气体控制装置最大限度地减少气体消耗,使调制电源和低室压运行能够提高能效。ULVAC专有的Vacuum Ultraviolet (VUV)灯进一步提高了机器的能效,使过程更加环保。EI-7K为将薄膜沉积在各种材料上提供了可靠和经济高效的解决方桉。其用户友好的设计和高级功能有助于提高工艺效率并提供生产灵活性。它是一种允许用户自定义设计溅射过程、赋予成本效益和对沉积过程的全面控制的工具。
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