二手 ULVAC EI-7K #9364550 待售

ULVAC EI-7K
製造商
ULVAC
模型
EI-7K
ID: 9364550
晶圆大小: 2"-6"
E-beam evaporation system, 2"-6".
ULVAC EI-7K是一种先进的溅射设备,旨在提供精确的控制和可靠的性能。它能够为各种基材提供极为均匀一致的溅射涂层。该腔室由不锈钢制成,总除气率极低,密封密封,可实现高水平的真空。它具有三区加热系统,可在精确热控下加热至4400 °C。ULVAC EI 7K还具有独特设计的气体单元,可用于在溅射沉积过程中引入反应性气体。EI-7K由几个高达6,000rpm的屏蔽装置提供动力,其溅射目标由石英侧屏蔽装置保护,以防止烟雾污染。其石英晶体监视器通过测量快门的0.524功率密度,有助于维持工艺的最佳条件。这使用户能够及时调整溅射过程,并迅速获得所需的结果。EI7K提供了几种额外的操作,以满足客户的不同需求。它具有为小至1x1mm的工件设计的离子枪,也可用于点溅射过程。它还具有一个发射电流监测器和一个高频(HF)发生器,用于溅射难以到达的区域。最后,它的数控机器可以连接到一台具有控制和监控过程的强大功能的PC。总之,ULVAC EI-7K是一种先进的溅射工具,设计用于各种基板上的一致、均匀的涂层。它具有几种先进的操作选项和显示器,具有可靠的性能和精确的控制。这使得它成为各种应用程序的理想选择。
还没有评论