二手 ULVAC EI-7K #9364551 待售

ULVAC EI-7K
製造商
ULVAC
模型
EI-7K
ID: 9364551
晶圆大小: 2"-6"
E-beam evaporation system, 2"-6".
ULVAC EI-7K是一种采用等离子体技术设计的溅射设备,可提供高产、高质量的连续生产溅射。它旨在满足先进研发和批量生产环境的需求。ULVAC EI 7K利用电磁现象的电弧放电现象产生由目标材料和所使用的溅射气体组成的粒子/电离气体。这种离子化的等离子体然后对准封闭在真空室中的底物样品。EI-7K具有从标准直流溅射到高频脉冲溅射技术的多种电源选择。直流电源选项的范围从微安培电平到毫安电平不等。脉冲功率选项可提供高达几十千瓦的峰值功率。EI 7K还提供各种目标形状和大小,包括平面和旋转目标。它还配备了用于基板附着的静电卡盘,并具有温度控制等特殊特点的选项。ULVAC EI-7K在操作中提供精确的控制和自动化,从而可以精确控制溅射速率。系统可以高达250纳米/秒的高速率溅射,同时仍保持所需的表面质量。它还旨在最大限度地减少目标表面和基板之间的摩擦,以减少污染并确保高质量的薄膜。ULVAC EI7K为溅射材料提供了高度的均匀性和均匀性。该装置的设计能够精确控制整个基板区域的沉积速率、厚度和均匀性。它还具有多种检测系统来评估涂层基板,并检测过程中可能损坏的任何样品。EI-7K是一种可靠、多用途的溅射机,适用于研发和批量生产环境。EI 7K具有精确的控制功能、高溅射速率和可定制的功能,非常适合任何需要最高性能的任务,同时保持最高质量。
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