二手 ULVAC EI-7K #9402605 待售

ULVAC EI-7K是一种用于研发（R&D）的多源中功率溅射设备。该系统结合了紧凑设计的便利性和多源溅射能力的灵活性。ULVAC EI 7K最多可容纳四个阴极，每个阴极都能进行射频或直流溅射，以及第五个阴极进行电子束蒸发。该单元支持多种不同的基材，适用于薄膜、多层膜和其他细腻的电子材料的生产。EI-7K包括一台坚固的真空机，底压范围为10-7至10-2 Torr。该工具采用超低压和温度下泵循环设计，能够快速高效地疏散腔室。为压力和温度控制提供了一种主动涡轮分子泵送设备，它允许精确的工艺条件，以及精确和可重复的真空环境。EI7K具有两个锁载室，可快速进入主腔室，可快速更换基板，不会中断工艺。该模型可以容纳多种基材尺寸，从小块到全晶片。ULVAC EI-7K还包括先进的数字控制器和显示器、电动顶板和精确的基于几何形状的涡轮分子泵。该设备采用易于使用、软件可配置的用户界面,并配备了多种自动化功能。它提供灵活的控制功能,并提供一系列的气流和系统配置。ULVAC EI 7K具有多种安全系统，与行业标准完全兼容，提供了薄膜生产所需的可靠性和精度水平。EI-7K是一个先进的溅射装置，为显示器、电子、光电子和太阳能电池等行业的应用提供了最佳解决方桉。它是研究实验室和工业生产薄膜材料的理想机器，提供开发和生产一系列高质量薄膜的能力。