二手 ULVAC EI-7K #9402679 待售

ULVAC EI-7K是来自真空处理设备领先制造商ULVAC Systems, Inc.的高性能溅射设备。它是一种用于薄膜沉积的全自动溅射系统，适用于广泛的应用。ULVAC EI 7K能够在多种基材上产生纤薄、均匀、保形的涂层，以及具有优良粘附性能的厚膜基材。该机组配备了固态离子源、选择性溅射和反应性溅射等多种技术，以保证优异的性能和涂层质量。EI-7K配备了先进的八靶溅射阴极真空沉积（CVD）机，提供高度的过程控制。它具有广泛的可调溅射参数，包括气体压力、离子电流、腔室温度和磁控管电流。该工具旨在在不同的溅射间隙配置之间快速切换，以方便和精确地控制涂层厚度。它可以同时溅射多达八个目标，每个溅射目标被独立操作和控制。随着目标的老化,SolGuard功能会自动减小目标到基板的距离,从而保持涂层的均匀性。除了高性能的溅射资产外，EI 7K包含了广泛的相关配件和技术。设有高真空压室、源电源、样品室、闸阀、出血管线。用户还可以利用等离子增强化学气相沉积（PECVD）、紫外线固化、蚀刻回等特殊工艺。该模型还配备了安全罩，保护操作员免受溅射过程中产生的危险颗粒的伤害。ULVAC EI-7K中包含了许多复杂的诊断和数据分析工具,从而便于检测和优化过程参数。随附软件可实时监控工艺参数，生成涂层性能的详细报告。软件还有一个多光谱成像设备，可以让用户验证表面截面的涂层厚度。该系统还包括用于电气测量的示波器，用于精确监测溅射表面和源。ULVAC EI 7K是一种用途极为广泛且可靠的溅射装置，为广泛的应用提供了最高水平的性能和价值。适用于多种行业，如液晶制造、半导体晶圆加工、数据存储、MEMS等。凭借其坚固的设计和可靠的性能，EI-7K是一个理想的溅射机实现了高品质的，超薄膜涂层。