二手 ULVAC ei-7L #9275223 待售

ULVAC ei-7L溅射设备是将薄膜沉积在各种基板上的多功能工具。它采用无功磁控管溅射技术，能够进行智能过程控制和优化。该精细铰接自动化有助于提供薄膜的统一和精确的应用在晶圆或基板上，从各种复杂的电子设备。它的模块化结构允许统一和优化的处理,从而能够有效地与生产线工作流集成。ULVAC EI-7 L具有灵活的腔室设计,可容纳不同的外围设备和工艺设备,允许各种基板尺寸和薄膜沉积工艺。该系统旨在方便地替换溅射目标,以便快速更改过程。Ei-7L具有有效的磁场溅射源，即使在高基质温度下也能实现精确和均匀的电子轰击。这确保了薄膜与基板表面的最佳附着力。其先进的反应输送装置消除污染，防止电泄漏。它还有一个内置的排气机和冷却工具，用于同时运行和高效的热管理。此外，EI-7 L可以适用于低温、环境友好的工艺，并能够在中高真空水平下运行。为方便操作、手动操作、方便维护，构建了溅射资产。它有一个内置的软件模型，具有自动数据集成和实时图形过程控制的选项。该设备能够以最少的浪费产生高质量、可重复的结果。低功耗有助于降低运行成本,而高度模块化的设计可实现快速、轻松的重新配置和维护。ULVAC ei-7L还具有一触式校准功能,可防止沉积过程中产生火花或静电冲击,从而提高操作员的安全性。总体而言，ULVAC EI-7 L是一种功能强大、用途广泛、可靠、安全、节能的溅射系统。它具有多种先进的特性，可确保沉积的一致性和精确度，其模块化设计可方便地针对不同的薄膜沉积过程进行定制。该装置适合多种生产线应用，性能优越，是薄膜沉积工艺的理想选择。