二手 ULVAC Entron EX 300 #293592005 待售

ULVAC Entron EX 300
製造商
ULVAC
模型
Entron EX 300
ID: 293592005
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Multi-chamber sputtering system, 12" (8) Chambers 2012 vintage.
ULVAC Entron EX 300是一种工业溅射设备,用于各种材料涂层应用。该系统有效地将均匀的薄膜以高速率和低成本沉积到基板上,适合大批量生产。作为一个多弧形单元,它能够涂覆广泛的材料,包括电介质、金属和合金。Entron EX 300设计用于在各种尺寸的基板上沉积均匀的薄膜,最大可达450mm。该机将高生产率与对薄膜厚度、附着力和光学特性的精确控制结合在一起。恩特龙的几何形状还允许精确放置多个弧和精确对准基板位置。ULVAC Entron EX 300在低基质温度下运行,允许复杂材料的快速蒸发而不会造成热损害。此外,Entron EX 300还提供了对沉积速率和一致性的精确控制,以满足广泛的客户要求。当结合惰性气体惰性离子源和集成真空工具时,ULVAC Entron EX 300能够在高速和超低压下精确溅射。Entron EX 300包括多项功能,可确保卓越的性能。提供了方便方便的参数设置软件,实现了多种设置点,同时提供了极好的可重复性。多层工艺控制方桉进一步提高了溅射沉积的精度,并实现了一致的结果。此外,工艺控制资产简化了生产,产生了从晶圆到晶圆的可重复结果。ULVAC Entron EX 300是薄膜均匀精确沉积的理想模型。它为生产者提供了一种高效、经济高效的方式来生产具有严格公差的大量产品。这款ULVAC多弧溅射设备具有卓越的工艺控制和先进的特点,适用于广泛的涂层应用。
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