二手 ULVAC Entron EX W300 #9211053 待售

ULVAC Entron EX W300溅射设备是一种强大的多功能溅射工具,非常适合各种应用。该W300提供了充气和氧气（或其他反应性气体）溅射，最多四支枪同时工作，控制精细到千分之一毫米的特征尺寸精度。高真空室可以容纳两个晶片，或高达4英寸的圆形基板和500伏的标称加速度电压。该装置采用磁控管溅射源，功率为300瓦，A型溅射或600瓦，用于反应性气体。该W300是为在包括研发、小规模生产和新材料初步评估在内的一系列真空和溅射环境中的鲁棒性和可靠性而设计的。强大的系统还提供了先进的功率调节与局部脉冲控制，允许过程参数的完全控制。该W300使用户能够同时运行材料沉积和表面处理,从而实现更高的样品吞吐量和更大的灵活性。除了确保工艺精度和可重复性，W300还具有集成的半导体热处理能力。该装置采用带加热散热器的多区石英红外灯，为温度敏感的工艺操作提供了高达800°C的最佳加热温度。先进的六轴机器人机器，以精确的导航和可重复的精度，创建多阶段、多轨道的处理路线，优化氧化物薄膜层去除、层薄膜沉积等过程。最后,W300具有直观的用户界面,使用户能够快速适应该工具,并通过实时、数据循环和图形显示随时了解情况。内置的安全和监控系统通过自动监控资产数据并针对故障情况进行保护来保护用户。总体而言，ULVAC ENTRON-EX W300是一种强大而可靠的溅射模型，旨在满足各种与基材相关的材料加工需求。