二手 ULVAC Entron EX W300 #9212275 待售

ULVAC Entron EX W300
製造商
ULVAC
模型
Entron EX W300
ID: 9212275
晶圆大小: 12"
PVD Systems, 12".
ULVAC Entron EX W300是一种高性能、最先进的溅射设备,专为各种应用而设计。该系统能够生产具有良好台阶覆盖率的均匀薄膜,是生产电子和光学元件的理想选择。ULVAC ENTRON-EX W300具有多参考真空室,可变宽度跟踪处理多达八个目标。其先进的泵站包括一个几乎无油的双级涡轮分子泵,确保将腔室有效泵送至低至10-5 mbar的压力水平。此外,该装置还包括一个可清除腔室内碳氢化合物污染的潜水柱,从而提高长期性能和可靠性。该机还具有集成的射频偏置电源,用于先进的薄膜合成和优化溅射沉积速率。这是通过使用RF偏置加上多个腔室压力来实现的,从而实现了对薄膜沉积参数的精密控制。溅射电源可以快速达到不同程度的阳极电压,并提供"负溅射"能力,可用于将导电层沉积到样品基板上。ENTRON EX W 300可以容纳众多的基材尺寸和材料,从纤薄的基材到尺寸要大得多的基材。通过在工具中加入有效的快速变更模块化设计,可以快速变更不同的来源,而无需重新校准。此功能消除了停机时间,并确保了最大的资产生产率。最后,ULVAC ENTRON EX W 300具有用户友好的控制台模型,其中包含直观的全图形用户界面。这样可以方便地使用和解释控制值,以便调整或采取纠正措施。成品被标记为具有高可靠性和优良的材料性能,如精确的薄膜厚度,纯度,和良好的附着力。这使得ENTRON EX W300生产薄膜涂料的理想工具。
还没有评论